1、序言

精密化、微型化是現(xiàn)代制造業(yè)的重要發(fā)展方向。鈦合金作為一種重要的輕質(zhì)合金，具有比強(qiáng)度高、耐蝕性強(qiáng)以及生物相容性好等特點(diǎn)，被認(rèn)為是制造金屬微結(jié)構(gòu)件的理想材料 [1] 。隨著制造技術(shù)的發(fā)展，鈦合金必將在航空航天、生物醫(yī)療和精密儀器等領(lǐng)域得到更多的應(yīng)用。

然而，鈦合金本身導(dǎo)熱系數(shù)低、彈性模量小且高溫下化學(xué)親和力強(qiáng)，屬于典型難加工材料 [2，3] 。

同時(shí)，金屬微結(jié)構(gòu)件體積小、特征復(fù)雜，對(duì)精度及表面質(zhì)量要求高，采用傳統(tǒng)加工工藝普遍存在加工質(zhì)量差、刀具磨損快等現(xiàn)象。因此，研究和探尋高效、高品質(zhì)的鈦合金微制造技術(shù)已成為當(dāng)前的一個(gè)熱點(diǎn)。

本文按增材、等材和減材成形類別對(duì)現(xiàn)有的鈦合金微制造方法與技術(shù)進(jìn)行了綜述，介紹了它們的成形原理與工藝特點(diǎn)，并對(duì)鈦合金微制造技術(shù)的未來(lái)發(fā)展方向提出了展望。

2、鈦合金增材微制造技術(shù)

鈦合金增材微制造技術(shù)以數(shù)字化模型為基礎(chǔ)，在保護(hù)氣氛下打印出二維截面，堆積連續(xù)的二維截面進(jìn)而獲得三維實(shí)體。常見(jiàn)的鈦合金增材制造技術(shù)有選區(qū)激光熔融（SLM）、選區(qū)電子束熔化（EBM）等。

SING等 [4] 通過(guò)SLM技術(shù)制備出圖1所示的鈦鉭合金多孔試樣，發(fā)現(xiàn)多孔結(jié)構(gòu)的尺寸精度、力學(xué)性能對(duì)激光功率更為敏感；MIRANDA等 [5] 研究了SLM技術(shù)加工薄壁零件的能力，通過(guò)數(shù)學(xué)模型分析了加工參數(shù)的影響，并以Ti6Al4V為原料制備出微板、微柱結(jié)構(gòu)；LIU等 [6] 通過(guò)EBM制備出具有優(yōu)良組織結(jié)構(gòu)的Ti2448多孔試樣，且該試樣有較高的強(qiáng)度

增材微制造技術(shù)生產(chǎn)的零件存在內(nèi)部孔隙，對(duì)其機(jī)械性能有不利影響。此外，該技術(shù)以圖層堆積方式進(jìn)行加工，成品零件表面粗糙度欠佳，部分場(chǎng)合需要后續(xù)處理以滿足實(shí)際需求。

3、鈦合金等材微制造技術(shù)

鈦合金等材微制造技術(shù)主要為粉末注射微成形技術(shù)。該技術(shù)加工時(shí)將粉末與粘結(jié)劑混煉制成加工原料，成形出特定形狀，經(jīng)脫脂、燒結(jié)等環(huán)節(jié)得到所需要的產(chǎn)品。該技術(shù)制備的工件成分均勻、后期廢料少，具備批量生產(chǎn)能力，其部分加工實(shí)例如圖2所示 [7] 。

由于該技術(shù)生產(chǎn)原料——低氧超細(xì)球形鈦粉成本較高，因此MANSHADI等 [8] 研究了低成本替代原料——?dú)浠锩摎洌℉DH）鈦粉的加工可行性，并確定了該原料的關(guān)鍵工藝參數(shù)，最終成品收縮均勻，但含氧量高于預(yù)期；HAYAT等 [9] 以水溶性聚乙二醇（PEG）為主要成分，聚碳酸亞內(nèi)酯（PPC）、聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）為主鏈成分開(kāi)發(fā)了適用于鈦合金粉末注射微成形的新型粘結(jié)劑體系，新型粘結(jié)劑可顯著提高成形件的生坯強(qiáng)度，有利于后續(xù)加工。

鈦合金粉末注射微成形技術(shù)具有批量生產(chǎn)能力，然而較高的原料成本限制了該技術(shù)的推廣，需要進(jìn)一步開(kāi)發(fā)低氧超細(xì)球形粉末的制備工藝，或開(kāi)展低成本替代原料的加工性能研究。另外，鈦合金粉末注射微成形的粘結(jié)劑通常是借鑒其他粉末的加工工藝，特性無(wú)法與鈦合金完全匹配，需要進(jìn)一步開(kāi)發(fā)適合鈦合金的新型粘結(jié)劑以獲得更好的加工效果。

4、鈦合金減材微制造技術(shù)

4.1 機(jī)械微加工技術(shù)

機(jī)械微加工技術(shù)通過(guò)刀具的微量切削作用去除材料，具有加工精度高、表面完整性好、加工柔性強(qiáng)和表面成分穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。

PRATAP等 [10] 通過(guò)球頭微銑削技術(shù)在Ti6Al4V表面制備出了微凹坑與微網(wǎng)格結(jié)構(gòu)（部分微結(jié)構(gòu)見(jiàn)圖3），并研究了不同結(jié)構(gòu)的摩擦學(xué)性能；ZIBEROV等 [11] 研究了鈦合金微切削時(shí)刀具涂層對(duì)刀具磨損的影響，結(jié)果表明，在干式切削條件下，采用類金剛石涂層刀具、TiAlN涂層刀具切削Ti6Al4V材料時(shí)刀具磨損可分別降低640%、267%。

由于鈦合金的切削加工性能較差，加工過(guò)程易出現(xiàn)刀具磨損、表面毛刺等現(xiàn)象，因此鈦合金的機(jī)械微加工相較于常規(guī)金屬而言難度更大。盡管近期關(guān)于鈦合金機(jī)械微加工的研究論文爆發(fā)式增長(zhǎng)，但其工業(yè)化應(yīng)用的案例實(shí)際上非常稀少。

4.2 熱能微加工技術(shù)

（1）激光微加工技術(shù)　激光微加工技術(shù)通過(guò)高能量密度激光蝕除工件材料，與常規(guī)激光加工技術(shù)相比精度更高，熱影響區(qū)更小，尤其適合工件局部的熱燒蝕處理。

TEMMLER等 [12] 在高掃描速度條件下對(duì)鈦合金進(jìn)行了激光微加工，加工效果如圖4所示；WANG等 [13] 通過(guò)激光微加工技術(shù)在Ti6Al4V表面制備出連通的蜂窩狀結(jié)構(gòu)，經(jīng)處理的零件表面光學(xué)反射率降低了90%。

激光微加工過(guò)程通常在空氣中進(jìn)行，工件表面易發(fā)生氧化變質(zhì)，且熱能作用下鈦合金表面易產(chǎn)生熱損傷。該技術(shù)采用的短脈沖激光發(fā)生器成本較高，需要進(jìn)一步研發(fā)高效、可靠且低成本的短脈沖激光發(fā)生器，以促進(jìn)該技術(shù)的工業(yè)化應(yīng)用。

（2）電火花微加工技術(shù)　電火花加工技術(shù)選用微米級(jí)工具電極，通過(guò)控制工具電極與工件之間的電火花來(lái)去除材料。該技術(shù)加工精度高，且具備加工高深寬比微結(jié)構(gòu)的能力。

TONG等 [14] 提出了雙軸聯(lián)動(dòng)、單軸伺服的電火花微加工新工藝，通過(guò)新工藝成功加工出NiTi合金微零件（見(jiàn)圖5）；FENG等 [15] 探索了不同工具電極轉(zhuǎn)速下工作間隙介質(zhì)的速度場(chǎng)以及產(chǎn)物分布情況，發(fā)現(xiàn)高速旋轉(zhuǎn)的電極有助于清除產(chǎn)物并提高加工過(guò)程的穩(wěn)定性。

電火花微加工技術(shù)同樣基于熱效應(yīng)去除工件材料，加工時(shí)易產(chǎn)生熱缺陷。由于其加工過(guò)程頻繁放電，所以電極會(huì)不可避免地發(fā)生損耗，降低加工精度。此外，在加工高深寬比微結(jié)構(gòu)時(shí)，加工產(chǎn)物易附著在工件表面，對(duì)加工穩(wěn)定性存在不利影響。

4.3 電解微加工技術(shù)

電解微加工技術(shù)以電化學(xué)溶解技術(shù)為原理，通過(guò)陽(yáng)極金屬氧化溶解去除工件材料。該技術(shù)無(wú)電極損耗，加工過(guò)程無(wú)內(nèi)應(yīng)力，成品表面粗糙度好，且工件材料以離子形式去除，理論精度可達(dá)納米級(jí)。

為研究鈦合金電解微加工的可能性，ANASANE等 [16] 測(cè)試了不同電解質(zhì)條件下鈦合金的溶解特性，發(fā)現(xiàn)乙二醇-溴化鈉組合的電解液表現(xiàn)出優(yōu)異的加工效果；ANASANE等 [17] 研究了電解微加工中工藝參數(shù)對(duì)加工精度的影響，并通過(guò)層層電解銑削的方式在純鈦表面制備出如圖6所示的方形螺旋微通道通槽結(jié)構(gòu)；YU等 [18] 在采用氯化鈉-乙二醇電解液的基礎(chǔ)上引入了高速旋轉(zhuǎn)的螺旋電極以加速電解產(chǎn)物的去除，在鈦板上加工出了高精度、高表面質(zhì)量的微縫結(jié)構(gòu)。

鈦合金具有易鈍化的特性，其在水基溶液中易形成鈍化層，會(huì)導(dǎo)致溶解過(guò)程難以持續(xù)穩(wěn)定進(jìn)行。

同時(shí)，電解微加工中的非加工區(qū)雜散腐蝕、加工表面再腐蝕等現(xiàn)象也會(huì)對(duì)成品的加工效果產(chǎn)生不利影響。雖然科技界對(duì)鈦合金電解微加工極有興趣并充滿期待，但該技術(shù)在實(shí)用化之前還需相當(dāng)長(zhǎng)的探索之路。

4.4 復(fù)合微加工技術(shù)

由于鈦合金具有諸多難加工特性，單一材料去除原理的加工方法存在一定局限，因此，為獲得更好的加工效果，常常將兩種或兩種以上不同原理的工藝組合形成復(fù)合加工。

為解決鈦合金切削性能差等問(wèn)題，XIA等 [19] 提出激光誘導(dǎo)氧化銑削工藝，控制激光與氧氣輸送，誘導(dǎo)鈦合金表面形成松散的氧化層，后通過(guò)微銑削實(shí)現(xiàn)材料去除。該技術(shù)可獲得更好的加工表面質(zhì)量，且刀具磨損率極低。針對(duì)電火花加工產(chǎn)物排出困難等問(wèn)題，SINGH等 [20] 開(kāi)發(fā)出一種超聲輔助電火花微加工裝置，發(fā)現(xiàn)超聲振動(dòng)對(duì)電火花微加工的材料去除率、刀具磨損率和孔錐度具有顯著影響。

為改善鈦合金鈍化導(dǎo)致的加工穩(wěn)定性降低等問(wèn)題，WANG等 [21] 研究了機(jī)械電解銑削過(guò)程中材料的去除機(jī)制，建立了數(shù)學(xué)模型以衡量加工期間電化學(xué)銑削與常規(guī)銑削的占比，與傳統(tǒng)的電解加工相比，機(jī)械電解銑削加工具有更高的加工效率。

復(fù)合微加工技術(shù)的原理性限制更少，具有更高的發(fā)展?jié)摿ΑＨ欢浼庸み^(guò)程相對(duì)復(fù)雜，不同能量聯(lián)合作用下材料的去除機(jī)理尚不完全清楚，因此鈦合金復(fù)合微加工技術(shù)目前多處于概念開(kāi)發(fā)和原型開(kāi)發(fā)階段，需要進(jìn)一步研究以實(shí)現(xiàn)高效、高品質(zhì)的鈦合金微加工。

5、結(jié)束語(yǔ)

本文綜述了幾種重要的鈦合金微制造方法與技術(shù)，總結(jié)了各工藝的優(yōu)勢(shì)與不足。由于鈦合金具有諸多難加工特性，單一材料去除原理的加工方式存在一定的局限，而復(fù)合微加工技術(shù)目前處于起步階段，有待進(jìn)一步研究，因此，未來(lái)的研究重點(diǎn)應(yīng)聚焦至以下方面。

1）對(duì)于減材微制造技術(shù)，需加深對(duì)材料去除機(jī)理的理解，改善加工過(guò)程中出現(xiàn)的不利因素。此外，需進(jìn)一步推進(jìn)復(fù)合微加工技術(shù)的研究，充分利用不同的加工機(jī)理實(shí)現(xiàn)鈦合金高質(zhì)量加工。

2）對(duì)于增材微制造技術(shù)，需進(jìn)一步探索低孔隙率的微加工技術(shù)及高效的微結(jié)構(gòu)件后處理技術(shù)，逐步推進(jìn)鈦合金增材微制造技術(shù)在工業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展。

3）對(duì)于等材微制造技術(shù)，需開(kāi)展低成本鈦粉的可行性研究，研發(fā)適配鈦合金材料特性的加工工藝以實(shí)現(xiàn)批量化的高質(zhì)量加工。

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