寶雞鈦靶廠家談各種鍍膜技術及應用
發布時間 :2022-02-18 17:51:21
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鍍膜方法 | 真空蒸鍍 | 濺射鍍 | 離子鍍 | 化學反應鍍 |
可鍍物質 | 金屬 | 金屬某些化合物 | 金屬、合金、化合物、陶瓷、高分子物質 | 金屬、合金、陶瓷、化合物 |
膜材蒸發方式 | 真空蒸鍍 | 真空濺射 | 蒸鍍、濺射 | 化學反應 |
基體加溫范圍℃ | 30~200 | 150~500 | 150~800 | 300~1100 |
沉積速率nm/min | 2500~75000 | 10~100 | 2500~50000 | 遠大于PVD |
界面附著強度 | 一般 | 較好 | 好 | 好 |
膜的純度 | 取決于膜材及膜材支撐舟或坩堝的純度 | 取決于靶材的純度和濺射氣體的純度 | 取決于膜材、坩堝及反應氣體的純度 | 取決于反應氣體 |
膜的性質 | 膜層不大均勻 | 高密度,針孔少,膜層交均勻 | 高密度,較均勻,針孔少 | 純度高,致密性好 |
對復雜表面的鍍敷能力 | 只鍍基片的直射表面 | 只鍍基片的直射表面 | 繞射性好,能鍍所有表面,膜均勻 | 可鍍復雜形狀的表面,沉積表面平滑 |
鍍膜方法 | 蒸發法 | 磁控濺射法 | 電鍍法 |
方式 | 干式 | 干式 | 濕式 |
優缺點 | 可鍍基材廣泛 | 可鍍基材范圍廣,在低溫能鍍多種合金膜 | 物理性能好,但基材和鍍膜金屬有局限性 |
用途 | 裝飾膜,光學膜,電學膜,磁性膜等 | 裝飾膜,光學膜,電學膜,磁性膜等 | 金屬和部分塑料的表面保護層和裝飾層 |
鍍膜 | 原理 | 蒸發 | 離子轟擊靶材 | 電解 |
狀態 | 中性 | 中性 | 離子 |
粒子能量 | 0.2eV(1200℃) | 0.1eV-10eV | 0.2eV |
表面 | 鍍膜前處理 | 涂底涂層,在真空中脫氣 | 涂底涂層,在真空中脫氣 | 化學腐蝕 |
粒子穿透深度 | 0,只在表面附著 | 有一點程度的穿透 | 化學腐蝕 |
處理過程 | 離子 | —— | <0.1% | 100% |
中性勵起電子 | —— | <10% | —— |
熱中性粒子 | 100% | <90% | —— |
鍍膜材料 | 可選用 | 金屬 | 金屬,非金屬 | 金屬 |
難與選用或不能選用 | 蒸汽壓非常低的材料,化合物,合金 | 易分解的化合物,蒸汽壓非常高的材料 | 易氧化的材料,高熔點材料,非金屬易氧化的材料,高熔點材料,非金屬 |
可鍍基材 | 金屬塑料玻璃等 | 金屬塑料玻璃等 | 金屬,部分材料 |
附著力 | 不好 | 不好-稍微好 | 良好 |
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