近些年來,平面顯示器走進千家萬戶的家庭之中,人們看電視時的液晶電視,智能手機的觸摸屏等等,這些設備都運用到了ITO靶材。在沒有這種材料之前,人們使用的是臺式電腦,臺式電視,使用的是滑蓋手機,翻蓋手機等。隨著平板顯示器尺寸大型化的發展,對ITO靶材尺寸及密度的要求也越來越高,熱壓設備與技術已遠遠不能滿足其要求。因此,以燒結工藝生產大尺寸、高密度ITO靶材已成為國內各大靶材生產廠家研發的要點。
ITO靶主要用于ITO膜透明導電玻璃的制作,后者是制造平面液晶顯示的主要材料,在電子工業、信息產業方面有著廣闊而重要的應用。ITO靶材被廣泛應用于各大行業之中,但主要應用于平板顯示器中,它是濺射ITO導電薄膜的主要原料,沒有它的存在,諸多的材料將無法實現正常加工以及設計。
ITO靶材的主要應用:
LCD經過長時間的發展后,產品質量不斷提升,成本也不斷下降,對ITO靶材的要求也隨之提高,因此,配合LCD的發展,未來ITO靶材發展大致有以下的趨勢:
1、降低電阻率
隨著LCD愈來愈精細化發展的趨向,以及它的驅動程序不同,需要更小電阻率的透明導電膜。
2、高密度化
靶材密度的改善直接帶來的益處主要表現在減少黑化和降低電阻率方面。靶材若為密度小時,有效濺射表面積會減少,濺射速度也會降低,靶材表面黑化趨勢加劇。高密度靶的表面變化少,可以得到低電阻膜。靶材密度與壽命也有關,高密度的靶材壽命較長,意味著可降低靶材成本。
3、尺寸大型化
隨著液晶模塊產品輕薄化和低價化趨勢的不斷發展,相應的ITO玻璃基板也出現了明顯的大型化的趨勢,因此ITO靶材單片尺寸大型化不可避免。
4、靶材本體整體化
如前所述,靶材將朝大面積發展,以往技術能力不足時,必須使用多片靶材拼焊成大面積,但由于接合處會造成鍍膜質量下降,因此目前大多以一體成形為主,以提升鍍膜質量與使用率。未來新世代LCD玻璃基板尺寸的加大,對靶材生產廠家是一項嚴苛的挑戰。
5、使用效率高率化
靶材使用率的提升,一直是設備商、使用者及靶材制造商共同努力的方向。目前靶材利用率可達40%,隨著液晶顯示器行業對材料成本要求的提高,提高ITO靶材的利用率也將是未來靶材研發的方向之一。
近年來,國內的靶材廠家發展速度,以尤特新材料為首的靶材生產商,加大了研發的投入,并引進國內外先進的生產和檢驗設備,其制造的靶材已達到國外先進進口靶材的品質,5N6N的高純靶材生產技術也日趨成熟。相信,不久將來,國內的靶材企業能在全部市場上也占有一席之地。
相關鏈接