鈦濺射靶材在隨著使用率的增加，表面可能會(huì)附著有殘留物，如粉塵、油污、氧化物等，繼而靶材表面有不同程度的結(jié)瘤，產(chǎn)品質(zhì)量也會(huì)有所下降，導(dǎo)致生產(chǎn)成本增加。因此，需要濺射靶材進(jìn)行充分的清潔，保證靶材的清潔度。今天巨偉鈦業(yè)就和大家介紹下鈦濺射靶材的清潔方法及養(yǎng)護(hù)。

一、鈦濺射靶材的清潔方法

清潔濺射靶材的目的是去除靶材表面可能存在的雜質(zhì)灰塵或污垢。可以通過(guò)以下方法達(dá)到清潔目的。注意清潔靶材時(shí)請(qǐng)配帶干凈而且不會(huì)起絨的保護(hù)手套，避免用手直接接觸靶材。

1、吸塵器清潔

（1）清除大顆粒物，采用吸塵器將濺射成膜過(guò)程中沉落到靶材濺射面的大顆粒物吸除干凈

（2）砂紙打磨，采用相應(yīng)目數(shù)的砂紙對(duì)靶材的濺射面進(jìn)行打磨，打磨方向順應(yīng)靶材濺射面形成有的跑道的方向，同時(shí)將位于跑道中間表面泛黃的氧化層打磨干凈，去除濺射面的氧化物和雜質(zhì)。

（3）清潔除塵，采用吸塵器將靶材的濺射面上由于砂紙打磨而產(chǎn)生的顆粒物和灰塵吸除干凈。

（4）擦拭清潔：采用無(wú)塵布蘸取少量酒精對(duì)靶材的濺射面進(jìn)行擦拭清潔，除去沒(méi)有完全吸除的灰塵，直至無(wú)塵布表面只有輕微變色。

2、其他清潔法

（1）用在丙酮中浸泡過(guò)的無(wú)絨軟布清潔；

（2）用酒精清潔；

（3）用去離子水清洗。在用去離子水清洗過(guò)后再將靶材放置在烘箱中以100攝氏度烘干30分鐘。氧化物及陶瓷靶材的清洗建議用“無(wú)絨布”進(jìn)行清潔；

（4）用高壓低水氣的氬氣沖洗靶材，以除去所有可能在濺射系統(tǒng)中會(huì)造成起弧的雜質(zhì)微粒。以上是濺射靶材清潔方法的介紹，接下來(lái)我們?cè)賮?lái)講解下濺射靶材的養(yǎng)護(hù)。

二、鈦濺射靶材的養(yǎng)護(hù)

1、密封性檢查

靶材完成安裝后需要對(duì)整個(gè)陰極進(jìn)行短路檢查及密封性檢查，建議通過(guò)使用電阻儀搖表的方式對(duì)陰極是否存在短路進(jìn)行判斷。在確定陰極不存在短路后，可以進(jìn)行檢漏檢查，將水通入陰極確定是否存在漏水現(xiàn)象。

2、濺射靶材保養(yǎng)

對(duì)使用完成的濺射靶材進(jìn)行保養(yǎng)，為避免在再次濺射過(guò)程中因?yàn)椴粷崈舻那惑w導(dǎo)致短路和起弧，有必要階段性的除去濺射軌道中間及兩側(cè)堆積的濺射物，這也有助于用戶可以連續(xù)以大功率密度進(jìn)行濺射。

3、濺射靶材儲(chǔ)存

濺射靶材不用時(shí)，無(wú)論是金屬或陶瓷類的靶材，建議用戶將靶材保存在真空密封塑料袋中，并附有防潮劑。尤其是貼合靶材更需要保存在真空條件下，以避免貼合層氧化影響貼合質(zhì)量。靶材外包裝一般為木箱，四周有防撞層，以保護(hù)靶材和背靶避免在運(yùn)輸和儲(chǔ)存過(guò)程中發(fā)生損壞。

濺射靶材的清潔方法及養(yǎng)護(hù)不可忽視，因?yàn)榘胁牡那鍧嵍葘?duì)于濺射鍍膜過(guò)程中形成的鍍膜質(zhì)量，以及產(chǎn)品質(zhì)量合格與否有著至關(guān)重要的作用，清除哪些在把才上的殘留物，可減少靶材表面結(jié)瘤，也能提高靶材利用率和生產(chǎn)效率，而且靶材清潔也與后期的養(yǎng)護(hù)密不可分，寶雞巨偉鈦業(yè)有限公司專注從事高純?yōu)R射靶材系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，引進(jìn)先進(jìn)靶材質(zhì)量控制體系，靶材組織結(jié)構(gòu)均勻細(xì)小、性能穩(wěn)定一致、濺射成膜性能優(yōu)異，并且提供定期維護(hù)意見(jiàn)和建議，如果您對(duì)我們的產(chǎn)品感興趣，歡迎致電巨偉鈦業(yè)。

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