眾所周知，鈦靶材的技術(shù)發(fā)展趨勢與靶材的制備發(fā)展趨勢息息相關(guān)，隨著應(yīng)用產(chǎn)業(yè)在薄膜產(chǎn)品或元件上的技術(shù)改進(jìn)，靶材技術(shù)也應(yīng)隨之變化。下面就跟著巨偉鈦業(yè)起來了解下靶材的制備方法吧！

1、先用化學(xué)方法制成銦錫氧化物化學(xué)復(fù)合粉末，或者將單體氧化銦粉末和單體氧化錫粉末按9： 1質(zhì)量比混合，制成機(jī)械復(fù)合粉末。粉末呈球形或準(zhǔn)球形，平均粒徑為30 ~ 200nm，純度為99%，無硬團(tuán)聚。

2、將復(fù)合粉末在1 350℃氧氣氛中進(jìn)行脫氧處理。

3、把復(fù)合粉末裝入包套內(nèi)進(jìn)行冷等靜壓。冷等靜壓介質(zhì)為油，壓力為200~280MPa，保壓時間為10min。獲得的粗坯密度為理論密度的45%~55%。

4、粗坯裝入相應(yīng)尺寸的容器內(nèi)。容器與粗坯間隔以金屬鉭膜或鎳膜或鈮膜或鉑膜，以阻止它們在高溫高壓下發(fā)生反應(yīng)。

5、抽真空，封裝有粗坯的容器。

6、將上述容器放入熱等靜壓爐中進(jìn)行熱等靜壓處理。熱等靜壓溫度為1 100~1 300℃，保溫時間為0.5~6h，氬氣氛壓力為100~120MPa。

7、熱等靜壓后用稀硝酸酸洗去除碳鋼容器，剝離金屬箔隔層，獲得靶材。

8、用線切割方法切割靶材，獲得所需尺寸的產(chǎn)品。

冷等靜壓包套(用橡膠制成)和熱等靜壓容器(由碳鋼制成，為方拄形或圓柱形)是由中南工業(yè)大學(xué)根據(jù)靶材點(diǎn)而門設(shè)計(jì)。

巨偉鈦業(yè)專注生產(chǎn)各種濺射靶材，鉻靶、鎳靶、鋯靶、鋁靶材等的深加工，產(chǎn)品純度高，還可進(jìn)行有關(guān)使用方面的技術(shù)指導(dǎo)，如果您有需要，歡迎聯(lián)系巨偉鈦業(yè)詳詢。

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